お知らせ

2010年度 同志社理工学会講演会

講演会を下記のとおり開催致しますので御案内申し上げます。




日時:2011年2月9日(水) 13:00~15:30
場所:恵道館204講義室 (KD‐204)


講 師: ①ITER機構 セントラルインテグレーション&エンジニアリング部門 オペレーションセクション、シニアオフィサー(RAMI担当)
        岡山 克巳氏
演 題: 「地上にミニ太陽を-核融合エネルギーの平和利用とITERプロジェクト」

<講演内容>
ITER(国際熱核融合実験炉)は、平和目的の核融合エネルギーが科学技術的に成立することを実証する為に、人類初の核融合実験炉を実現しようとする超大型国際プロジェクトです。世界7極から南フランスのカダラッシュに集まったスタッフが中心となり、これまで各国が個別に進めてきたトカマク型核融合炉の開発成果を元に、最先端技術を投入しながら開発を進めています。日本は準ホスト国としてプロジェクトをリードする立場にあり、多くの分野で先頭に立ってプロジェクトを引っ張っています。本講演ではITERの概要およびその重要性を説明し、更に私がITERと関わりを持つことになったきっかけや実際にITER計画に携わっている立場から、日々の業務や国際プロジェクトで働く意義やチャレンジ、将来展望などについてもお話したいと思います。

講 師: ②日新イオン機器株式会社 I/I事業センター プロセスエンジニアリンググループ
        宮本 直樹氏
演 題: 「プラズマ技術の産業応用-半導体製造とイオン注入-」

<講演内容>
宇宙の99%を占めると言われるプラズマに対する理解と制御技術の進展に伴って、プラズマ技術は学術目的から産業界への適用が進んできた。古くは蛍光灯もその光源はグロー放電と言うプラズマの一種である。それ以外にも産業界の様々な分野での、プラズマ技術の応用が進んでいる。現在、コンピュータや情報・通信機器のみならず、家電製品や自動車、果ては玩具に至るまで、多くの半導体が用いられている。これらの半導体は、1チップあたり数万~数億個もの微細なトランジスタを集積したものである。この微細なトランジスタの製造における薄膜形成、エッチングそして不純物注入においては、プラズマを用いた技術が必須となっている。講演では、プラズマ技術の進展を概観した後、現在の半導体の構造とそれを製造するためのプラズマ技術、特に不純物イオン注入技術の進展について報告する。